亚美体育官网亚美体育官网亚美体育官网：在制造医药品或食品等的制造场所或者手术室等医疗场所，维持室内的无菌状态很重要。特别是在作为制造医药品的作业室的无菌室的净化中，需要完成符合gmp(goodmanufacturingpractice，药品生产质量管理规范)的高度的净化验证。近年来，在无菌室等作业室(以下称为净化对象室)的净化中，广泛使用过氧化氢(气体或雾)。该过氧化氢具有强力的灭菌效果，廉价且容易获得，并且作为最终分解成氧气和水的对环境温和的净化气体是有效的。在下述专利文献1中记载了该利用过氧化氢的净化效果是由冷凝于净化对象部位的表面的双氧水的冷凝膜带来的。因此，为了实现净化对象室的净化效果的完善，可以增加过氧化氢的供给量从而使产生的双氧水的冷凝膜增厚或变为高浓度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特公昭61-4543号公报技术实现要素：发明所要解决的问题但是，向净化对象室供给过量的过氧化氢时，发生过度的冷凝，产生设置在净化对象室的内部的各种制造设备、精密测定设备或净化对象室的壁面等因所产生的高浓度的双氧水的冷凝膜而被腐蚀这样的问题。另外，利用过氧化氢进行净化后，进行利用洁净空气除去在净化对象室的内部残留的过氧化氢、冷凝膜的曝气。但是，供给过量的过氧化氢的情况下，存在如下问题：对于用于除去在净化对象室的壁面等产生的高浓度的双氧水的冷凝膜的曝气而言需要大量时间。因此，本发明的目的在于提供解决上述各问题的净化装置，其通过采用雾循环分散机构，能够在通过向净化对象室供给适当量的净化剂而实现净化效果的完善的同时缩短曝气等的作业时间从而实现净化作业的高效化。用于解决问题的方法为了解决上述问题，本发明人进行了深入研究，结果发现，通过使雾循环分散机构采用超声波振动而使被供给至净化对象室的双氧水的雾微细化并且在净化对象室内高效地循环，能够实现适当的冷凝膜的生成，从而完成了本发明。即，根据技术方案1的记载，本发明的净化装置是装配在作业室(10)的内部的净化装置(20)，其特征在于，具备雾供给单元(30)和雾循环分散机构(40)，上述雾供给单元将净化用药水转换为净化用雾，并将其供给至该作业室的内部，上述雾循环分散机构具备配置于上述作业室的内部壁面附近的振动盘(41、42)，使该振动盘进行超声波振动而从盘面沿垂直方向产生基于超声波的声流，使基于声辐射压的按压作用于被供给至上述作业室内的上述净化用雾，由此使该净化用雾在上述作业室内循环分散。另外，根据技术方案2的记载，本发明是如技术方案1所述的净化装置，其中，上述雾循环分散机构具备两个以上振动盘(241、242、243、244)，上述两个以上振动盘以使其盘面彼此不相对的方式配置，由此不会由于由各振动盘产生的超声波而产生驻波声场，因此，上述净化用雾以在上述作业室的内部回旋的方式移动。另外，根据技术方案3的记载，本发明是如技术方案1或2所述的净化装置，其中，上述振动盘具备底座(45)和两个以上发射器(46)，在上述底座的平面(45a)上使上述两个以上发射器的发射方向统一地进行配置，并且使这些发射器以相同相位工作，由此，在使上述两个以上发射器的正面方向的超声波相互增强的同时使该两个以上发射器的横向的超声波相互抵消，从上述振动盘的盘面沿垂直方向产生指向性强的基于超声波的声流。另外，根据技术方案4的记载，本发明是如技术方案1～3中任一项所述的净化装置，其中，被供给至上述作业室内的上述净化用雾通过由上述振动盘产生的超声波振动而进一步微细化。另外，根据技术方案5的记载，本发明是如技术方案1～4中任一项所述的净化装置，其中，具备使由上述振动盘产生的超声波的频率和输出功率可变、和/或间歇地发射超声波的控制单元，对在上述作业室内循环分散的上述净化用雾的移动速度进行控制。发明效果根据上述构成，本发明的净化装置具备雾供给单元和雾循环分散机构。雾供给单元将净化用药水转换为净化用雾，并将其供给至该作业室的内部。雾循环分散机构具备配置于作业室的内部壁面附近的振动盘，使该振动盘进行超声波振动而从盘面沿垂直方向产生基于超声波的声流。由此，能够通过超声波振动使被供给至作业室内的净化用雾微细化，并且使基于声辐射压的按压作用于该净化用雾，使该净化用雾在作业室内循环分散。这样，可以提供一种净化装置，其通过采用雾循环分散机构，能够在通过向净化对象室供给适当量的净化剂而实现净化效果的完善的同时缩短曝气等的作业时间从而实现净化作业的高效化。另外，根据上述构成，雾循环分散机构可以具备两个以上振动盘。该两个以上振动盘以使其盘面彼此不相对的方式配置，由此不会由于由各振动盘产生的超声波而产生驻波声场。由此，净化用雾以在作业室的内部回旋的方式移动。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。另外，根据上述构成，振动盘具备底座和两个以上发射器，在底座的平面上使两个以上发射器的发射方向统一地进行配置，并且使这些发射器以相同相位工作。其结果是，在使两个以上发射器的正面方向的超声波相互增强的同时使该两个以上发射器的横向的超声波相互抵消。由此，能够从振动盘的盘面沿垂直方向产生指向性强的基于超声波的声流。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。另外，根据上述构成，被供给至作业室内的净化用雾通过由振动盘产生的超声波振动而进一步微细化。由此，能够更具体地发挥上述作用效果。另外，根据上述构成，可以具备使由振动盘产生的超声波的频率和输出功率可变的控制单元。另外，可以具备间歇地发射超声波的控制单元。由此，能够对在作业室内循环分散的净化用雾的微细化和移动速度进行控制。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。附图说明图1是从侧面观察配置有第一实施方式的净化装置的隔离器的内部的示意性截面图。图2是示出在图1的净化装置所具备的振动盘中的扬声器底座上配置有两个以上超声波扬声器的状态的示意性立体图。图3是从侧面观察表示图1的变形例的隔离器的内部的示意性截面图。图4是从侧面观察现有的隔离器的内部的示意性截面图。图5是从侧面观察配置有第二实施方式的净化装置的隔离器的内部的示意性截面图。具体实施方式在本发明中，“雾”是指广义的解释，包括微细化而漂浮在空气中的净化剂的液滴的状态、净化剂的气体与液滴混合存在的状态、净化剂在气体和液滴之间反复进行冷凝和蒸发的相变的状态等。另外，关于粒径，也广义地解释为包括根据情况细致区分的雾(mist)、浓雾(fog)和液滴等。因此，对于本发明的雾而言，包括根据情况被称为雾(有时也定义为10μm以下)或浓雾(有时也定义为5μm以下)以及具有其以上的粒径的雾。需要说明的是，在本发明中，认为通过超声波振动的作用，雾、浓雾和液滴等3μm～10μm或其以上的液滴都可以被均匀化至3μm以下的超微细粒子而发挥高度的净化效果(之后进行说明)。以下，通过各实施方式对本发明的净化装置进行详细说明。需要说明的是，本发明并非只限于下述各实施方式。《第一实施方式》在本第一实施方式中，关于作为净化对象的作业室，以隔离器为例进行说明。图1是从侧面观察配置有第一实施方式的净化装置的隔离器的内部的示意性截面图。在图1中，隔离器10在其内部配置有净化装置20。净化装置20由雾供给装置30、雾循环分散装置40和控制装置(未图示)构成。在本第一实施方式中，使用双流体喷雾喷嘴30作为雾供给装置30，设置在隔离器10的底壁面11上。另外，在本第一实施方式中，使用双氧水(h2o2水溶液)作为净化剂。双流体喷雾喷嘴30通过来自压缩机(未图示)的压缩空气使双氧水雾化而变为双氧水雾31，供给至隔离器10的内部。需要说明的是，在本发明中，关于雾供给装置，不限于双流体喷雾喷嘴，对于雾产生机构和输出功率等没有特别限定。在此，对雾循环分散装置40进行说明。在本第一实施方式中，雾循环分散装置40具备两台振动盘41、42。两台振动盘41、42在隔离器10的内部的图示右壁面下部和图示左壁面上部这两处背对侧壁面12、13且使振动面41a、42a在隔离器10的内部朝向水平方向地配置。这两台振动盘41、42以不使盘面(振动面)彼此相对(盘面之间彼此正面相对)的方式配置。关于使两台振动盘41、42不相对地配置的理由以及双氧水雾31的行迹，之后进行说明。在此，对振动盘41(42也相同)进行说明。图2是示出在图1的净化装置所具备的振动盘中的扬声器底座上配置有两个以上超声波扬声器的状态的示意性立体图。在图2中，振动盘41具备底座和两个以上发射器。在本第一实施方式中，使用扬声器底座45作为底座，使用超声波扬声器46作为发射器。在本第一实施方式中，在扬声器底座45的平面45a上将25个超声波扬声器46以使它们的振动面46a的发射方向(图示正面左方向)统一的方式进行配置。需要说明的是，超声波扬声器的个数没有特别限定。在本第一实施方式中，使用超指向性的超声波扬声器作为超声波扬声器46。具体而言，使用发射频率为40khz左右的超声波的调频方式的超声波扬声器(dc12v、50ma)。需要说明的是，关于超声波扬声器的种类、大小和结构、输出功率等，没有特别限定。另外，在本发明中，关于雾循环分散装置所具备的振动盘，不限于超声波扬声器，对于超声波的产生机构、频带和输出功率等没有特别限定。在本第一实施方式中，使两个以上(25个)超声波扬声器46的振动面46a的发射方向统一，并且使这些发射器以相同相位工作，由此，在各超声波扬声器46的正面方向的超声波相互增强的同时各超声波扬声器46的横向的超声波相互抵消。其结果是，当配置在扬声器底座45上的超声波扬声器46进行超声波振动时，从各振动面46a沿垂直方向产生在空气中行进的指向性强的声流。需要说明的是，通过控制装置(未图示)控制超声波扬声器46的频率和输出功率，高效的净化操作成为可能。接着，对配置有上述构成的净化装置20的隔离器10的内部的双氧水雾31的行迹进行说明。需要说明的是，在图1中，关于配置在隔离器10的内部的图示右下的振动盘41，使其振动面41a(与超声波扬声器46的振动面46a的方向相同)朝向图示左方向。在该状态下，超声波扬声器46进行超声波振动时，从振动面41a沿垂直方向(图示左方向)行进的指向性强的声流41b将从双流体喷雾喷嘴30放出的双氧水雾31卷入，并使基于声辐射压的按压作用于该双氧水雾31，使其沿声流41b的行进方向(图示左方向)移动。此时，双氧水雾31由于基于声流41b的超声波振动的作用而变为微细化的微细雾31a，并在隔离器10的内部循环分散。另一方面，关于配置在隔离器10的内部的图示左上的振动盘42，使其振动面42a(与超声波扬声器46的振动面46a的方向相同)朝向图示右方向。在该状态下，超声波扬声器46进行超声波振动时，从振动面42a沿垂直方向(图示右方向)行进的指向性强的声流42b使基于声辐射压的按压作用于由于声流41b的作用而被微细化并送来的微细雾31a，使其沿声流42b的行进方向(图示右方向)移动。此时，微细雾31a由于基于声流42b的超声波振动的作用而变为更稳定的微细雾31b，并在隔离器10的内部循环分散。这样，在隔离器10的内部，振动盘41和振动盘42以使彼此的振动面41a、42a不从正面相对的方式配置。这是因为，在振动盘41的振动面41a与振动盘42的振动面42a从正面相对的情况下，从各振动盘41、42产生的超声波相互作用而产生驻波声场。在产生了驻波声场的情况下，微细雾31a、31b不会受到基于声辐射压的按压而无法移动。这样，在隔离器10的内部，由于声流41b和声流42b而被微细稳定化的微细雾31a、31b以沿图示箭头方法(图示顺时针)回旋的方式循环。需要说明的是，声流41b和声流42b是在平面上传播的稳定的驻波的纵波，与来自雾喷嘴的直接方式或风扇方式相比，以没有风速差的气流方式传播。此时，微细雾31a、31b在超声波振动的作用下被微细化，粒径变小，表面积变大，因此认为雾的蒸发效率高，并且反复进行蒸发和冷凝。另外，微细雾31a、31b是被高度微细化的雾，在隔离器10的内壁面形成均匀且薄层的冷凝膜。因此，与现有的净化操作相比，不会在隔离器10的内壁面产生局部地存在不均和厚度的冷凝膜。这样，过氧化氢的微细雾31a、31b一边始终受到超声波振动的作用一边在隔离器10的内部反复进行蒸发、冷凝和微细化，同时进行循环。另外，隔离器10的内壁面也始终受到超声波振动的作用，均匀且薄层的冷凝膜的再蒸发和冷凝反复进行。由此认为，在隔离器10的内部过氧化氢的3μm以下的超微细粒子与过氧化氢气体在发生相变的同时共存，从而呈现出高度的净化环境。另外，在隔离器10的内壁面上均匀且以薄层形成的冷凝膜反复进行再蒸发和冷凝，由此能够提高净化雾中的净化剂浓度，能够用少量的净化剂进行高效的净化。另外，由于能够用少量的净化剂进行高效的净化，因此，净化后的曝气的效率也提高，还可以缩短净化操作的时间。此外，作为次要效果，通过基于声流41b和声流42b的超声波振动和声辐射压，还能够得到除去隔离器10的内壁面上的附着物的效果。在此，对本第一实施方式的变形例进行说明。在以上说明的图1中，两台振动盘41、42在隔离器10的内部的图示右壁面下部和图示左壁面上部这两处背对侧壁面12、13(与侧壁面平行地)且使振动面41a、42a在隔离器10的内部朝向水平方向地配置。在本第一实施方式的变形例中，使振动盘41、42的方向发生变化。图3是从侧面观察表示图1的变形例的隔离器的内部的示意性截面图。在图3的变形例中，两台振动盘41、42在隔离器10的内部的图示右壁面下部和图示左壁面上部这两处背对侧壁面12、13、并且使振动面41a、42a朝向与侧壁面12、13以规定的角度倾斜的方向地配置。具体而言，关于配置在图示右壁面下部的振动盘41，使其振动面41a朝向从侧壁面12向底壁面11倾斜的方向地配置。另一方面，关于配置在图示左壁面上部的振动盘42，使其振动面42a朝向从侧壁面13向上壁面14倾斜的方向地配置。在这样配置了两台振动盘41、42的图3中，关于配置在隔离器10的内部的图示右下的振动盘41，使其振动面41a朝向图示左下方向的底壁面11倾斜。在该状态下，超声波扬声器46进行超声波振动时，从振动面41a沿垂直方向(图示左下方向)行进的指向性强的声流41b将从双流体喷雾喷嘴30放出的双氧水雾31卷入，并使基于声辐射压的按压作用于该双氧水雾31，使其在声流41b的行进方向(图示左下方向)上沿着底壁面11移动。此时，双氧水雾31由于基于声流41b的超声波振动的作用而变为微细化的微细雾31a，并在隔离器10的内部、尤其是底壁面11附近循环分散。另一方面，关于配置在隔离器10的内部的图示左上的振动盘42，使其振动面42a朝向图示右上方向的上壁面14倾斜。在该状态下，超声波扬声器46进行超声波振动时，从振动面42a沿垂直方向(图示右上方向)行进的指向性强的声流42b使基于声辐射压的按压作用于由于声流41b的作用而被微细化并送来的微细雾31a，使其在声流42b的行进方向(图示右上方向)上沿着上壁面14移动。此时，微细雾31a由于基于声流42b的超声波振动的作用而变为更稳定的微细雾31b，并在隔离器10的内部、尤其是上壁面14附近循环分散。这样，在隔离器10的内部，振动盘41和振动盘42以使彼此的振动面41a、42a朝向底壁面11或上壁面14倾斜地配置。由此，在隔离器10的内部，由于声流41b和声流42b而被微细稳定化的微细雾31a、31b以沿图示箭头方法(图示顺时针)回旋、并且尤其是沿着各壁面的方式循环。因此认为，各壁面附近的雾的密度增加，从而净化效率进一步提高。在此，对现有的净化作用与本第一实施方式进行了比较。图4是从侧面观察现有的隔离器的内部的示意性截面图。在图4中，与图1同样地只描绘了隔离器内部的清洁区域，省略了供气排气风扇、hepa过滤器、控制装置和装配于内部的设备类等。在图4中，隔离器110具备在底壁面111将净化剂雾供给至内部的雾供给装置130和两台循环风扇141、142。在此，雾供给装置使用与图1相同的双流体喷雾喷嘴130，净化剂使用双氧水(h2o2水溶液)。双流体喷雾喷嘴130通过来自压缩机(未图示)的压缩空气使双氧水雾化而变成双氧水雾131，供给至隔离器110的内部。两台循环风扇141、142在隔离器110的内部的图示右壁面下部和图示左壁面上部这两处背对侧壁面且使送风面141a、142a在隔离器110的内部朝向水平方向地配置。这两台循环风扇141、142以不使送风面141a、142a彼此相对的方式配置。接着，对上述构成的隔离器110的内部的双氧水雾131的行迹进行说明。需要说明的是，在图4中，关于配置在隔离器110的内部的图示右下的循环风扇141，使其送风面141a朝向图示左方向。在该状态下，循环风扇141工作时，从送风面141a沿垂直方向(图示左方向)行进的送风将从双流体喷雾喷嘴130放出的双氧水雾131卷入，使双氧水雾131沿该行进方向(图示左方向)移动。此时，双氧水雾131没有被微细化，并且在因雾合并而形成粗大雾的同时以雾131a的形式在隔离器110的内部移动。另一方面，关于配置在隔离器110的内部的图示左上的循环风扇142，使其送风面142a朝向图示右方向。在该状态下，循环风扇142工作时，从送风面142a沿垂直方向(图示右方向)产生行进的送风。此时，从循环风扇141送来的雾131a没有被微细化，并且在因雾合并而形成粗大雾的同时以雾131b的形式在隔离器110的内部移动。这样，在隔离器110的内部，利用循环风扇141、142使雾131a、131b以沿图示箭头方法(图示顺时针)回旋的方式循环。但是，由循环风扇141、142引起的送风不会成为稳定的驻波，以存在风速差和风速变化的气流的方式传播。另外，雾131a、131b没有被微细化，并且在因雾合并而形成粗大雾的同时在隔离器110的内壁面产生局部地存在不均的冷凝。另外，雾131a、131b没有被微细化，粒径大，表面积小，因此，雾的蒸发效率低，难以对隔离器110的内部空间整个区域进行均匀加湿和均匀净化。因此，无法提高净化雾的浓度，难以削减净化剂的量。另外，在现有的净化操作中，净化后的曝气的效率也差，难以缩短净化操作的时间。因此可知，与现有的净化操作相比，使用本第一实施方式的净化装置的意义更大。接着，通过实施例对配置有本第一实施方式的净化装置20的隔离器10的净化作用具体地进行说明。需要说明的是，本发明并非只限于以下的实施例。实施例在本实施例中，作为模擬隔离器，使用容积为0.4m3的封闭空间(内壁面为不锈钢板)，与本实施方式1同样地配置两台振动盘(参照图1)。需要说明的是，作为将双氧水(35w/v％)雾化的雾供给装置，使用超声波加湿器(喷雾器)代替双流体喷雾喷嘴。双氧水向封闭空间的投入量为以0.4g/分钟的投入速度投入10分钟(相当于10g/m3)。净化中的封闭空间的状态是温度为23℃、湿度为50％。然后，通过25分钟的曝气除去封闭空间内的过氧化氢。封闭空间内的净化效果利用酶指示剂ei(enzymeindicator)进行确认。ei是在试验后对残留酶活性进行荧光测定来确认净化效果的物质，与现有的bi(biologicalindicator，生物指示剂)相比，无需培养操作，能够在短时间内确认效果。近年来，ei已确认了与bi的相对等价性，正在普及。根据净化后的ei的荧光强度计算基于菌数的对数减少的lrd值(logsporereduction)，将隔离器内部的充分的净化效果被认可的4～6lrd或其以上判断为合格。将作为模擬隔离器的封闭空间中的ei的配置示于图1中。在图1中，在图示左上前面配置ei-1，在图示左上里面配置ei-2。另外，在图示左下前面配置ei-3，在图示左下里面配置ei-4。另外，在图示右上前面配置ei-5，在图示右上里面配置ei-6。另外，在图示右下前面配置ei-7，在图示右下里面配置ei-8。需要说明的是，将使配置在封闭空间内的两台振动盘工作的情况作为实施例、将使两台振动盘不工作的情况作为比较例进行试验。将净化操作后的实施例和比较例的ei-1～ei-8的lrd值示于表1中。[表1]ei-1ei-2ei-3ei-4ei-5ei-6ei-7ei-8实施例5.96.77.67.47.98.46.47.7比较例4.6＜2.5＜2.56.5＜2.5＜2.57.96.2由表1可知，通过使两台振动盘工作，封闭空间内的lrd值在任何位置都确认到了充分的效果，均匀地进行了净化。与此相对，就比较例的lrd值而言，发现了很多未达到4lrd的净化不充分区域。另外，虽然本次没有进行试验，但为了以利用循环风扇的方式(参照图4)完全地净化该容量的封闭空间，作为经验值，需要投入速度为0.7g/分钟且25分钟(相当于44g/m3)的双氧水，之后所需的曝气的时间为45分钟。由此可知，作为本实施方式1的净化装置的效果，大幅削减了双氧水投入量。另外可知，与此相伴，净化后的曝气的时间也短缩。因此，根据本第一实施方式，通过采用雾循环分散机构，可以提供能够在通过向净化对象室供给适当量的净化剂而实现净化效果的完善的同时缩短曝气等的作业时间从而实现净化作业的高效化的净化装置。《第二实施方式》上述第一实施方式涉及具备两台振动盘的净化装置，与此相对，在本第二实施方式中，对在隔离器中配置有具备四台振动盘的净化装置进行说明。图5是从侧面观察配置有本第二实施方式的净化装置的隔离器的内部的示意性截面图。在图5中，隔离器210在其内部配置有净化装置220。净化装置220由雾供给装置230、雾循环分散装置240和控制装置(未图示)构成。在本第二实施方式中，作为雾供给装置230，使用与上述第一实施方式相同的双流体喷雾喷嘴230，设置在隔离器210的底壁面211上。另外，在本第二实施方式中，作为净化剂，使用与上述第一实施方式相同的双氧水(h2o2水溶液)。双流体喷雾喷嘴230通过来自压缩机(未图示)的压缩空气使双氧水雾化而变成双氧水雾231，供给至隔离器210的内部。需要说明的是，在本发明中，关于雾供给装置，不限于双流体喷雾喷嘴，对于雾产生机构和输出功率等没有特别限定。在此，对雾循环分散装置240进行说明。在本第二实施方式中，雾循环分散装置240具备四台振动盘241、242、243、244。四台振动盘241、242、243、244配置在隔离器210的内部的图示右壁面下部、图示左壁面下部、图示左壁面上部和图示右壁面上部这四处。振动盘241、243分别配置在图示右壁面下部和图示左壁面上部，并且分别背对左右的侧壁面且使振动面241a、243a在隔离器210的内部朝向水平方向地配置。另一方面，振动盘242、244分别配置在图示左壁面下部和图示右壁面上部，并且分别背对底壁面和上壁面且使振动面242a、244a在隔离器210的内部朝向垂直方向地配置。这四台振动盘241、242、243、244以不使盘面(振动面)彼此相对的方式配置。在此，对振动盘241、242、243、244进行说明。这些振动盘241、242、243、244使用结构与上述第一实施方式的振动盘41、42相同的振动盘(参照图2)。另外，这些振动盘241、242、243、244的频率和输出功率也使用与上述第一实施方式的振动盘相同的频率和输出功率。接着，对配置有上述构成的净化装置220的隔离器210的内部的双氧水雾231的行迹进行说明。需要说明的是，在图5中，关于配置在隔离器210的内部的图示右下的振动盘241，使其振动面241a朝向图示左方向。在该状态下，超声波扬声器46进行超声波振动时，从振动面241a沿垂直方向(图示左方向)行进的指向性强的声流241b将从双流体喷雾喷嘴230放出的双氧水雾231卷入，并使基于声辐射压的按压作用于该双氧水雾231，使其沿声流241b的行进方向(图示左方向)移动。此时，双氧水雾231由于基于声流241b的超声波振动的作用而变为微细化的微细雾231a，并在隔离器210的内部循环分散。接着，关于配置在隔离器210的内部的图示左下的振动盘242，使其振动面242a朝向图示上方向。在该状态下，超声波扬声器46进行超声波振动时，从振动面242a沿垂直方向(图示上方向)行进的指向性强的声流242b使基于声辐射压的按压作用于由于基于声流241b的超声波振动的作用而被微细化并送来的微细雾231a，使其沿声流242b的行进方向(图示上方向)移动。此时，微细雾231a由于基于声流242b的超声波振动的作用而变为更稳定的微细雾231b，并在隔离器210的内部循环分散。接着，关于配置在隔离器210的内部的图示左上的振动盘243，使其振动面243a朝向图示右方向。在该状态下，超声波扬声器46进行超声波振动时，从振动面243a沿垂直方向(图示右方向)行进的指向性强的声流243b使基于声辐射压的按压作用于由于基于声流242b的超声波振动的作用而被微细化并送来的微细雾231b，使其沿声流243b的行进方向(图示右方向)移动。此时，微细雾231b由于基于声流243b的超声波振动的作用而变为更稳定的微细雾231c，并在隔离器210的内部循环分散。接着，关于配置在隔离器210的内部的图示右上的振动盘244，使其振动面244a朝向图示下方向。在该状态下，超声波扬声器46进行超声波振动时，从振动面244a沿垂直方向(图示下方向)行进的指向性强的声流244b使基于声辐射压的按压作用于由于基于声流243b的超声波振动的作用而被微细化并送来的微细雾231c，使其沿声流244b的行进方向(图示下方向)移动。此时，微细雾231c由于基于声流244b的超声波振动的作用而变为更稳定的微细雾231d，并在隔离器210的内部循环分散。这样，在隔离器210的内部，由于声流241b、242b、243b、244b而被微细稳定化的微细雾231a、231b、231c、231d以沿图示箭头方法(图示顺时针)回旋的方式循环。需要说明的是，声流241b、242b、243b、244b是在平面上传播的稳定的驻波的纵波，与来自雾喷嘴的直接方式、风扇方式相比，以没有风速差的气流的方式传播。此时，微细雾231a、231b、231c、231d是高度微细化的雾，不会在隔离器210的内壁面产生局部地存在不均的冷凝。另外，微细雾231a、231b、231c、231d在超声波振动的作用下被微细化，粒径小，表面积大，因此，雾的蒸发效率高，能够实现隔离器210的内部空间整个区域的均匀加湿和均匀净化。由此，能够提高净化雾的浓度，能够用少量净化剂实现高效的净化。另外，由于能够用少量的净化剂高效地净化，因此也可以提高净化后的曝气的效率，还可以缩短净化操作的时间。此外，作为次要效果，通过基于声流241b、242b、243b、244b的超声波振动和声辐射压，还能够得到除去隔离器210的内壁面上的附着物的效果。因此，根据本第二实施方式，通过采用雾循环分散机构，可以提供能够在通过向净化对象室供给适当量的净化剂而实现净化效果的完善的同时缩短曝气等的作业时间从而实现净化作业的高效化的净化装置。需要说明的是，实施本发明时，不限于上述各实施方式，可以列举如下所述的各种变形例。(1)在上述各实施方式中，关于作为净化对象的作业室，以隔离器为例进行了说明。但是，不限于此，也可以进行洁净室、labs、传递窗等的净化。另外，净化装置的雾供给装置和雾循环分散装置(振动盘)可以固定于作业室内、或者也可以只在净化时投入作业室内。(2)在上述各实施方式中，对雾循环分散装置的振动盘的台数为两台和四台的情况进行了说明。但是，不限于此，本发明中对于振动盘的台数没有限定。因此，可以利用一台振动盘使净化剂雾在净化对象室内循环。另外，也可以将五台以上振动盘配置于规定位置。(3)在上述各实施方式中，使用了双流体喷雾喷嘴作为雾供给装置。但是，不限于此，可以使用实施例中使用的超声波加湿器(喷雾器)或单流体喷雾喷嘴等。另外，也可以组合使用两种以上雾供给装置。(4)在上述各实施方式中，作为雾循环分散装置的振动盘，使用了在扬声器底座上配置有两个以上超声波扬声器的振动盘。但是，不限于此，作为振动盘，只要是在具有一定面积的不锈钢板上固定有朗之万型振子的振动盘或者其它具有进行超声波振动的盘面的振动盘，则可以使用任意的振动盘。(5)在上述各实施方式中，作为雾循环分散装置的振动盘，使用了在扬声器底座上配置有两个以上超声波扬声器的振动盘，而且以使超声波扬声器的发射方向统一的方式进行了配置，并且使这些超声波扬声器以相同相位工作。但是，不限于此，也可以使两个以上超声波扬声器以不同相位工作。(6)在上述各实施方式中，作为净化剂，使用了双氧水(h2o2水溶液)。但是，不限于此，只要是可作为净化剂使用的液体状的净化剂，则可以使用任意的净化剂。(7)在上述各实施方式中，对净化剂雾沿垂直方向循环的情况进行了说明。但是，不限于此，也可以使净化剂雾沿水平方向循环。符号说明10、110、210…隔离器、11、111、211…底壁面、12、13…侧壁面、14…上壁面、20、220…净化装置、30、130、230…雾供给单元(双流体喷雾喷嘴)、31、131、231…双氧水雾、131a、131b…雾、31a、31b、231a、231b、231c、231d…微细雾、40、240…雾循环分散机构、41、42、241、242、243、244…振动盘、41a、42a、241a、242a、243a、244a…振动面、41b、42b、241b、242b、243b、244b…声流、45…扬声器底座、45a…扬声器底座的平面、46…超声波扬声器、46a…超声波扬声器的振动面、141、142…循环风扇、141a、142a…送风面、ei-1～ei-8…酶指示剂(enzymeindicator)。当前第1页12

　　技术研发人员：川崎康司;角田大辅;益留纯;二村春华;矢崎至洋;北野司;郭志强;小川亚由美