（19）中华人民共和国国家知识产权局（12）实用新型专利（10）申请公布号CN201323188Y（43）申请公布日2009.10.07（21）申请号CN9.8（22）申请日2008.12.30（71）申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司地址201203上海市张江路18（72）发明人宋英华（74）专利代理机构上海思微知识产权代理事务所代理人（51）Int.CI权利要求说明书说明书（54）发明名称排风装置（57）摘要本实用新型提供一种排风装置，用于抽取反应腔内的有毒有害物质，所述排风装置包括：排风罩以及真空泵，所述排风罩罩设在所述反应腔上，所述真空泵与所述排风罩亚美体育官网相连接。本实用新型提供的排风装置，在设备维护人员维护制程设备的反应腔时进行排风处理，可将反应腔内的有毒有害物质排走，防止反应腔内的有毒有害物质扩散到空气中，影响洁净室的洁净度，保障设备维护人员的人身安全。法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态2009-10-07授权授权2009-10-07授权授权2013-03-20专利申请权、专利权的转移专利申请权、专利权的转移2013-03-20专利申请权、专利权的转移专利申请权、专利权的转移2019-01-25专利权的终止专利权的终止权利要求说明书排风装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看说明书亚美体育官网排风装置的说明书内容是....请下载后查看