本实用新型提供了一种过滤设备，过滤设备包括：过滤装置，包括筒体、冷却装置、滤芯组件、振动模块、进气口和排气口，部分冷却装置设置在筒体内，滤芯组件设置在冷却装置内，振动模块设置在滤芯组件上，过滤设备内的气体从进气口进入至筒体内，再经过冷却装置及滤芯组件后由排气口排出。本申请的技术方案有效解决了现有技术中频繁地更换过滤器装置降低设备运转效率的问题。

　　(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210448391 U (45)授权公告日 2020.05.05 (21)申请号 0.4 (22)申请日 2019.06.28 (73)专利权人 东泰高科装备科技有限公司 地址 102209 北京市昌平区科技园区中兴 路10号A129-1室 (72)发明人 梁旭赵青松张金斌 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 代理人 邹秋爽 (51)Int.Cl. B01D 46/00(2006.01) B01D 46/42(2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 (54)实用新型名称 过滤设备 (57)摘要 本实用新型提供了一种过滤设备，过滤设备 包括：过滤装置，包括筒体、冷却装置、滤芯组件、 振动模块、进气口和排气口，部分冷却装置设置 在筒体内，滤芯组件设置在冷却装置内，振动模 块设置在滤芯组件上，过滤设备内的气体从进气 口进入至筒体内，再经过冷却装置及滤芯组件后 由排气口排出。本申请的技术方案有效解决了现 有技术中频繁地更换过滤器装置降低设备运转 效率的问题。 U 1 9 3 8 4 4 0 1 2 N C CN 210448391 U 权利要求书 1/1页 1.一种过滤设备，其特征在于，包括： 过滤装置(10)，包括筒体(30)、冷却装置(50)、滤芯组件(60)、振动模块(41)、进气口 (11)和排气口(12)，至少部分所述冷却装置(50)设置在所述筒体(30)内，所述滤芯组件 (60)设置在所述冷却装置(50)内，所述振动模块(41)设置在所述滤芯组件(60)上，所述过 滤设备内的气体从所述进气口(11)进入至所述筒体(30)内，再经过所述冷却装置(50)及所 述滤芯组件(60)后由所述排气口(12)排出。 2.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述冷却装置(50)包括壳体(51)和冷 却管路(52)，所述冷却管路(52)环绕在所述壳体(51)外壁上，所述冷却管路(52)与所述筒 体(30)之间具有间隔，所述滤芯组件(60)设置在所述壳体(51)内，所述振动模块(41)与所 述壳体(51)的内壁之间具有间隔。 3.根据权利要求2所述的过滤设备，其特征在于，所述振动模块(41)包括开关和振动 机。 4.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述过滤装置(10)还包括第一紧固件 (16)，所述振动模块(41)通过所述第一紧固件(16)安装在所述滤芯组件(60)的底部。 5.根据权利要求2所述的过滤设备，其特征在于，所述过滤装置(10)还包括减振结构 (42)，所述减振结构(42)设置在所述壳体(51)和所述滤芯组件(60)之间。 6.根据权利要求5所述的过滤设备，其特征在于，所述减振结构(42)包括法兰(421)和 金属波纹管(422)，所述法兰(421)与所述滤芯组件(60)连接，所述金属波纹管(422)的一端 连接在所述壳体(51)的内壁上，所述金属波纹管(422)的另一端连接在所述法兰(421)上。 7.根据权利要求6所述的过滤设备，其特征在于，所述滤芯组件(60)包括滤芯组(61)和 第一板体(62)和第二板体(63)，所述第一板体(62)和所述第二板体(63)分别位于所述滤芯 组(61)的两端，所述滤芯组(61)、所述第一板体(62)和所述第二板体(63)通过第二紧固件 连接，所述法兰(421)连接在所述第一板体(62)上。 8.根据权利要求6所述的过滤设备，其特征在于，所述壳体(51)包括上壳体(511)和下 壳体(512)，所述金属波纹管(422)的一端连接在所述上壳体(511)的内壁上，所述冷却管路 (52)环绕在所述下壳体(512)的外侧，所述下壳体(512)的底部为开放端，所述过滤设备还 包括底壳(80)，所述底壳(80)位于所述筒体(30)的底部，所述底壳(80)与所述下壳体(512) 之间具有间隔，所述筒体(30)的一端与所述上壳体(511)可拆卸地连接，所述筒体(30)的另 一端与所述底壳(80)可拆卸地连接。 9.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述过滤装置(10)为多个，各所述过 滤装置(10)的进气口(11)相连通，各所述过滤装置(10)的排气口(12)相连通，或者，多个所 述过滤装置(10)中的相邻的两个所述过滤装置(10)中的一个所述过滤装置(10)的排气口 (12)与另一个所述过滤装置(10)的进气口(11)相连通。 10.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述过滤设备还包括防护外罩(70)， 所述防护外罩(70)罩设在多个所述过滤装置(10)的外侧，所述过滤设备还包括设置在所述 防护外罩(70)外部的抽气装置，所述防护外罩(70)的内部空腔与所述抽气装置连通。 2 2 CN 210448391 U 说明书 1/7页 过滤设备 技术领域 [0001] 本实用新型涉及半导体领域，具体而言，涉及一种过滤设备。 背景技术 [0002] Metal-organic Chemical Vapor Deposition(金属有机化合物化学气相沉淀，简 称MOCVD)设备尾气中含有大量的大分子颗粒磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物。若不 阻止这些磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物不阻止，这些有毒有害的物质会排放到大 气中，会造成环境污染。同时这些有毒有害的物质中的固态物质会堵塞线] 尾气中大量的大分子颗粒磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物一般经过单层 或多层过滤装置，以除去反应尾气中含有的固体颗粒，尾气处理装置的滤芯材料一般为无 纺布或者不锈钢网，随着设备运转时间延民，尾气中固体颗粒在过滤器中逐渐沉积，达到一 定沉积程度后，过滤器的滤芯需要更换以满足设备生长时反应室内压力稳定的要求。更换 过滤器滤芯时，MOCVD设备需要停止生产数小时，单独拆换过滤器装置，频繁地更换过滤器 装置会降低设备运转效率，影响生产产量。 实用新型内容 [0004] 本实用新型的主要目的在于提供一种过滤设备，以解决现有技术中频繁地更换过 滤器装置降低设备运转效率的问题。 [0005] 为了实现上述目的，本实用新型提供了一种过滤设备，过滤设备包括：过滤装置， 包括筒体、冷却装置、滤芯组件、振动模块、进气口和排气口，至少部分冷却装置设置在筒体 内，滤芯组件设置在冷却装置内，振动模块设置在滤芯组件上，过滤设备内的气体从进气口 进入至筒体内，再经过冷却装置及滤芯组件后由排气口排出。 [0006] 进一步地，冷却装置包括壳体和冷却管路，冷却管路环绕在壳体外壁上，冷却管路 与筒体之间具有间隔，滤芯组件设置在壳体内，振动模块与壳体的内壁之间具有间隔。 [0007] 进一步地，振动模块包括开关和振动机。 [0008] 进一步地，过滤装置还包括第一紧固件，振动模块通过第一紧固件安装在滤芯组 件的底部。 [0009] 进一步地，过滤装置还包括减振结构，减振结构设置在壳体和滤芯组件之间。 [0010] 进一步地，减振结构包括法兰和金属波纹管，法兰与滤芯组件连接，金属波纹管的 一端连接在壳体的内壁上，金属波纹管的另一端连接在法兰上。 [0011] 进一步地，滤芯组件包括滤芯组和第一板体和第二板体，第一板体和第二板体分 别位于滤芯组的两端，滤芯组、第一板体和第二板体通过第二紧固件连接，法兰连接在第一 板体上。 [0012] 进一步地，壳体包括上壳体和下壳体，金属波纹管的一端连接在上壳体的内壁上， 冷却管路环亚美体育官网绕在下壳体的外侧，下壳体的底部为开放端，过滤设备还包括底壳，底壳位于筒 体的底部，底壳与下壳体之间具有间隔，筒体的一端与上壳体可拆卸地连接，筒体的另一端 3 3 CN 210448391 U 说明书 2/7页 与底壳可拆卸地连接。 [0013] 进一步地，过滤装置为多个，各过滤装置的进气口相连通，各过滤装置的排气口相 连通，或者，多个过滤装置中的相邻的两个过滤装置中的一个过滤装置的排气口与另一个 过滤装置的进气口相连通。 [0014] 进一步地，过滤设备还包括防护外罩，防护外罩罩设在多个过滤装置的外侧，过滤 设备还包括设置在防护外罩外部的抽气装置，防护外罩的内部空腔与抽气装置连通。 [0015] 应用本实用新型的技术方案，过滤设备包括过滤装置。过滤设备包括：过滤装置， 包括筒体、冷却装置、滤芯组件、振动模块、进气口和排气口。至少部分冷却装置设置在筒体 内，滤芯组件设置在冷却装置内，振动模块设置在滤芯组件上。过滤设备内的气体从进气口 进入至筒体内，再经过冷却装置及滤芯组件后由排气口排出。这样，气体内的固态物质经过 冷却装置时，冷却装置能够对固态物质进行冷却，使得气化的固态物质冷凝，沉积到筒体 内，未沉积的固态物质再经过滤芯组件对其进行过滤，最后排出筒体外。在本申请中，在振 动模块的作用下，滤芯组件处于振动状态。这样，通过振动模块产生的振动，能够将滤芯组 件表面上的附着的沉积物抖落，增强了滤芯组件的过滤能力，提高了过滤设备工作效率，并 延长了过滤设备的维护周期。因此，本申请的技术方案有效解决了现有技术中频繁地更换 过滤器装置降低设备运转效率的问题。 附图说明 [亚美体育官网0016] 构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用 新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。 在附图中： [0017] 图1示出了根据本实用新型的过滤设备的实施例的立体结构示意图； [0018] 图2示出了图1的过滤设备的过滤装置和托车的主视示意图； [0019] 图3示出了图1的过滤设备的过滤装置和托车的局部剖视示意图； [0020] 图4示出了图1的过滤设备的过滤装置内气体流向的示意图； [0021] 图5示出了图1的过滤设备的冷却装置的立体结构示意图； [0022] 图6示出了图1的过滤设备的滤芯组件的立体结构示意图； [0023] 图7示出了图1的过滤设备的防护外罩的立体结构示意图；以及 [0024] 图8示出了根据本实用新型的过滤设备的另一实施例的两个过滤装置连通的示意 图。 [0025] 其中，上述附图包括以下附图标记： [0026] 10、过滤装置；11、进气口；12、排气口；13、双头卡钳；14、进气连接法兰；15、排气连 接法兰；16、第一紧固件；30、筒体；41、振动模块；42、减振结构；421、法兰；422、金属波纹管； 50、冷却装置；51、壳体；511、上壳体；512、下壳体；52、冷却管路；521、进水口；522、出水口； 60、滤芯组件；61、滤芯组；611、滤芯；62、第一板体；63、第二板体；64、第三板体；70、防护外 罩；71、第一罩体；72、第二罩体；80、底壳；90、托车；91、托板；92、托架；93、支撑轮；94、减震 地脚。 4 4 CN 210448391 U 说明书 3/7页 具体实施方式 [0027] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用 新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没 有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 [0028] 需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根 据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式 也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包 括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。 [0029] 除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表 达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各 个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技 术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授 权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例 性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似 的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随 后的附图中不需要对其进行进一步讨论。 [0030] 如图1、图3和图4所示，本实施例的过滤设备包括过滤装置10。过滤装置10包括筒 体30、冷却装置50、滤芯组件60、振动模块41、进气口11和排气口12。至少部分冷却装置50设 置在筒体30内，滤芯组件60设置在冷却装置50内。振动模块41设置在滤芯组件60上。过滤设 备内的气体从进气口11进入至筒体30内，再经过冷却装置50及滤芯组件60后由排气口12排 出。 [0031] 应用本实施例的技术方案，过滤设备包括过滤装置10，包括筒体30、冷却装置50、 滤芯组件60、振动模块41、进气口11和排气口12。气体内的固态物质经过冷却装置50时，冷 却装置50能够对固态物质进行冷却，使得气化的固态物质冷凝，沉积到筒体30内，未沉积的 固态物质再经过滤芯组件60对其进行过滤，最后排出筒体30外。在本实施例中，在振动模块 41的作用下，滤芯组件60处于振动状态。这样，通过振动模块41产生的振动，能够将滤芯组 件60表面上的附着的沉积物抖落，增强了滤芯组件60的过滤能力，提高了过滤设备工作效 率，并延长了过滤设备的维护周期。因此，本实施例的技术方案有效解决了现有技术中频繁 地更换过滤器装置降低设备运转效率的问题。 [0032] 本实施例中的固态物质为大分子颗粒磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物或 者固态的砷化合物。 [0033] 如图2至图5所示，在本实施例中，冷却装置50包括壳体51和冷却管路52。冷却管路 52环绕在壳体51外壁上，冷却管路52与筒体30之间具有间隔。这样，上述的间隔使得冷却管 路52位于筒体30与壳体51之间的形成的空间内。壳体51的设置能够将冷却管路52和滤芯组 件60分隔开，这样，壳体51与筒体30之间形成冷却空间，便于冷却管路52先对气体中的固态 物质进行冷却作用，壳体51与滤芯组件60之间形成过滤空间，便于滤芯组件60再对气体中 的固态物质进行过滤作用。因此，上述不同的空间使得气体在过滤的过程中互不干涉，能够 5 5 CN 210448391 U 说明书 4/7页 保证过滤装置10的过滤效果。进气口11设置在筒体30的侧壁上，排气口12设置在壳体51的 顶壁上。进气口11和排气口12分别位于两个过滤装置10的不同位置上，这样进气口11和排 气口12互不干涉，便于气体进气和排气。滤芯组件60设置在壳体51内，振动模块41与壳体51 的内壁之间具有间隔。这样，上述的间隔使得振动模块41在一定的区域内产生振动，减弱了 振动模块41对冷却装置50产生影响。 [0034] 如图3和图4所示，在本实施例中，振动模块41包括开关和振动机。在开关开启的状 态下，振动机工作以带动滤芯组件60处于振动状态，在开关关闭的状态下，振动机停止以使 滤芯组件60处于静止状态。这样，开关和振动机配合操作简单，维护方便，大大节约了人力 成本，进而使得过滤设备在有效的时间内能够增加MOCVD设备的产能产值。 [0035] 如图3和图4所示，在本实施例中，过滤装置10还包括第一紧固件16，振动模块41通 过第一紧固件16安装在滤芯组件60的底部。这样，过滤装置10与壳体51之间具有足够的安 装空间，便于安装振动模块41。 [0036] 如图3和图4所示，在本实施例中，过滤装置10还包括减振结构42，减振结构42设置 在壳体51和滤芯组件60之间。减振结构42的设置能够有效降低滤芯组件60的振动对冷却装 置50产生的干扰。 [0037] 如图3和图4所示，在本实施例中，减振结构42包括法兰421和金属波纹管422。法兰 421与滤芯组件60连接。这样法兰421的设置便于金属波纹管422与滤芯组件60实现连接。金 属波纹管422的一端连接在壳体51的内壁上，金属波纹管422的另一端连接在法兰421上。金 属波纹管422能够在过滤装置10的高温环境下工作，满足使用要求。同时，金属波纹管422具 有一定的弹性，能够有效地降低滤芯组件60振动对壳体51产生的冲击，提高过滤设置工作 的稳定性。 [0038] 如图3、图4和图6所示，在本实施例中，滤芯组件60包括滤芯组61和第一板体62和 第二板体63，第一板体62和第二板体63分别位于滤芯组61的两端。滤芯组61、第一板体62和 第二板体63通过第二紧固件连接。法兰421连接在第一板体62上。滤芯组61的设置便于工作 人员对滤芯组件60进行更换或者清洗。此外，通过滤芯组61能够对气体进行一级过滤，使气 体满足排放标准。 [0039] 如图6所示，在本实施例中，滤芯组61包括沿筒体30的中心轴线方向设置的两个。 两个滤芯组61之间连接有第三板体64。每个滤芯组61包括八个滤芯611。两个滤芯组61能够 增大滤芯611的过滤面积，使得滤芯组件60能够过滤更多的固态物质。第三板体64的设置能 够固定和密封滤芯611，使滤芯611能够与第一板体62和第二板体63连接在一起。在其他图 中未示出的实施例中，滤芯组的数量不限于两个，数量可以为三个、四个及以上，同样地，滤 芯的数量不限于八个，数量可以为两个、三个、四个、七个、九个及以上。此外，多个滤芯组中 的相邻两个滤芯组之间连接有第三板体，这样第三板体能够起到固定和密封滤芯的作用。 [0040] 在本实施例中，滤芯的材质为不锈钢丝，过滤等级为50μm左右。这样能够保证滤芯 的过滤能力，进而使气体达到满足排放标准。 [0041] 如图3至图5所示，在本实施例中，过滤设备还包括底壳80，壳体51包括上壳体511 和下壳体512，下壳体512的底部为开放端，底壳80位于筒体30的底部。这样壳体51、筒体30 和底壳80三者之间共同形成过滤气体的过滤空间，便于过滤设备过滤气体，同时底壳80位 于筒体30的底部便于筒体30和底壳80能够收集经冷却后沉积的固态物质。底壳80与下壳体 6 6 CN 210448391 U 说明书 5/7页 512之间具有间隔，上述的间隔便于气体从底壳80与下壳体512之间通过。金属波纹管422的 一端连接在上壳体511的内壁上，金属波纹管422的一端与上壳体511之间可以通过紧固件 连接，也可以通过焊接的方式连接在一起。冷却管路52环绕在下壳体512的外侧，这样下壳 体512便于固定冷却管路52，此外，冷却管路52较长，使得冷却管路52内侧的下壳体512具有 足够的冷却空间，会冷却更多的固态物质，同时，也能够沉积更多的固态物质到底壳80内。 筒体30的一端与上壳体511可拆卸地连接，筒体30的另一端与底壳80可拆卸地连接。这样， 在清洗或者更换过滤装置10内的装置时，便于拆装。上述的可拆卸地连接是指通过双头卡 钳13连接或者螺栓和螺钉连接。 [0042] 如图5所示，在本实施例中，冷却管路52优选为冷却水管。在过滤装置10工作的过 程中，从冷却管路52的进水口521通入15℃左右的冷水，经冷却水管管路，从冷却管路52的 出水口522排出。 [0043] 如图1和图7所示，在本实施例中，过滤设备还包括防护外罩70，防护外罩70罩设在 多个过滤装置10的外侧，过滤设备还包括设置在防护外罩70外部的抽气装置，防护外罩70 的内部空腔与抽气装置连通。这样，一方面防护外罩70内部空腔能够提供一个负压环境，防 止固态物质在密封性不好的时候造成泄露，对人身造成危害。另一方面防护外罩70能够保 护过滤装置10，避免损坏。 [0044] 如图1和图7所示，在本实施例中，防护外罩70包括第一罩体71和第二罩体72，第一 罩体71相对于第二罩体72可枢转地连接。上述的可枢转地连接使得工作人员操作方便。本 实施例的可枢转地连接为通过枢轴及卡扣配合方式实现。当然可枢转地连接可以不限于上 述的方式，只要第一罩体71相对于第二罩体72能够打开和关上均在本实施例的保护范围之 内。这样，第一罩体71相对于第二罩体72能够打开将过滤装置10装入，进而对过滤装置10进 行保护。 [0045] 在本实施例中，过滤设备是MOCVD设备真空系统中的一部分，并位于真空泵的前 端。防护外罩70外部的抽气装置优选为线所示，在本实施例中，过滤装置10为两个，各过滤装置10的进气口11相 连通，各过滤装置10的排气口12相连通。上述的连通方式能够增加真空泵工作的抽速，使得 两个过滤装置10能够过滤更多的固态物质，可以有效的阻止固态物质通过真空泵排到大气 中。同时，也能够增加了过滤装置的使用周期，进而延长了过滤设备的使用寿命。在其他图 中未示出的实施例中，过滤装置可以为三个、四个及以上。 [0047] 如图1至图3所示，在本实施例中，过滤设备还包括托车90，两个过滤装置10可拆卸 地连接在托车90上。托车90能够支撑两个过滤装置10。托车90包括托板91、托架92和支撑轮 93，托架92设置在托板91上，支撑轮93设置在托板91的底部，两个过滤装置10可拆卸地连接 在托板91上。这样，托车90能够将两个过滤装置10移进或者移出防护外罩70，便于对两个过 滤装置10进行维护。 [0048] 如图2至图4所示，在本实施例亚美体育官网中，托板91上设置有减震地脚94，减震地脚94的一端 与托板91连接另一端能够与地面接触。两个第一过滤装置10在工作的情况下，减震地脚94 的设置能够防止托车90移动，使得过滤设备能够稳定的工作。具体地，将底壳80固定在托车 90上，再将筒体30用双头卡钳13连接到底壳80上，将金属波纹管422的一端安装在上壳体 511内，再将金属波纹管422的另一端连接到滤芯组件60的顶部，再将振动模块41安装在滤 7 7 CN 210448391 U 说明书 6/7页 芯组件60的底部。将安装在冷却装置50上的振动模块41和金属波纹管422一起放入筒体30 中。通过螺杆和螺栓将滤芯组件60和冷却装置50连接在一起。上壳体511通过双头卡钳13与 筒体30的上部连接。将两个过滤装置10按相对位置安装好后，再依次通过进气连接法兰14 和排气连接法兰15将两个过滤装置10连接，进气口11与进气连接法兰14连通，排气口12与 排气连接法兰15连通。减震地脚94在托车90定位时进行安装使用。最后将防护外罩70安装 在托车90的外围。 [0049] 如图1至图7所示，本实施例的具体工作过程如下： [0050] 将两个过滤装置10固定在托车90上，通过托车90将两个过滤装置10送入至防护外 罩70内。两个过滤装置10的进气口11均与过滤设备外侧的设备尾气管路接通，两个过滤装 置10的排气口12均与过滤设备外侧的真空泵接通。气体同时从右边的过滤装置10(图3中位 于右边)的进气口11进入至右边的过滤装置10内，从左边的过滤装置10(图3中位于左边)的 进气口11进入至左边的过滤装置10内。气体沿筒体30和冷却管路52之间的冷却空间由上向 下进入，再从下壳体512的的底部向上流动，气体再沿下壳体512与滤芯组61之间的过滤空 间由下至上经滤芯组61的外部进入到滤芯组61的内部。在这个过程中，气体中的固态物质 经冷却空间冷却后沉积，沉积的固态物质物会落在筒体30的内壁和底壳80的内壁上，气体 中固态物质经过滤空间后会附着在多个滤芯611的表面以及底壳80的内壁上。在振动模块 41的作用下，能够将多个滤芯611表面上的附着的沉积物抖落，增强多个滤芯611过滤气体 中固态物质的效果。同时，在减振结构42的作用下，能够有效降低滤芯组件60的振动对冷却 装置50产生的干扰。在真空泵的作用下，使过滤后的气体两个过滤装置10的排气口12排到 大气中或者连接到过滤设备外侧的检测设备中。 [0051] 如图8所示，在过滤设备的另一实施例中，与上述实施例的过滤装置的过滤过程相 同，与上述实施例的区别在于，相邻的两个过滤装置10中的一个过滤装置10(图8中位于右 边)的排气口12与另一个过滤装置10(图8中位于左边)的进气口11相连通。 [0052] 具体地，在另一实施例中，将右边的过滤装置10和左边的过滤装置10固定在托车 (图中未示出)上，通过托车将两个过滤装置送入至防护外罩(图中未示出)内。右边的过滤 装置10的进气口11与过滤设备外侧的设备尾气管路接通，左边的过滤装置10的排气口12与 过滤设备外侧的真空泵接通。气体从右边的过滤装置10的进气口11进入至右边的过滤装置 10内，气体再从右边的过滤装置10的排气口12进入至左边的过滤装置10内。在这个过程中， 气体沿筒体和冷却管路之间的冷却空间由上向下进入，再从下壳体的的底部向上流动，气 体再沿下壳体与滤芯组之间的过滤空间由下至上经滤芯组的外部进入到滤芯组的内部。在 这个过程中，气体中的固态物质经冷却空间冷却后沉积，沉积的固态物质物会落在筒体的 内壁和底壳的内壁上，气体中固态物质经过滤空间后会附着在多个滤芯的表面以及底壳的 内壁上。在振动模块的作用下，能够将多个滤芯表面上的附着的沉积物抖落，增强多个滤芯 过滤气体中固态物质的效果。同时，在减振结构的作用下，能够有效降低滤芯组件的振动对 冷却装置产生的干扰。在真空泵的作用下，使过滤后的气体左边的过滤装置10的排气口12 排到大气中或者连接到过滤设备外侧的检测设备中。 [0053] 在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、 竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位 置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词 8 8 CN 210448391 U 说明书 7/7页 并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因 此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮 廓的内外。 [0054] 为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、 “在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特 征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位 之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器 件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下 方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和 “在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并 且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。 [0055] 此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于 对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本 实用新型保护范围的限制。 [0056] 以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本 领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则 之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。 9 9 CN 210448391 U 说明书附图 1/6页 图1 10 10 CN 210448391 U 说明书附图 2/6页 图2 11 11 CN 210448391 U 说明书附图 3/6页 图3 12 12 CN 210448391 U 说明书附图 4/6页 图4 13 13 CN 210448391 U 说明书附图 5/6页 图5 图6 14 14 CN 210448391 U 说明书附图 6/6页 图7 图8 15 15

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